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EnglishPlasma deposition of organosilicon coatings as low-k dielectrics / MILELLA A; A.M. COCLITE; F. PALUMBO; F. FRACASSI; R. DAGOSTINO. - (2007). ((Intervento presentato al convegno 18th International Symposium on Plasma Chemistry tenutosi a Kyoto (Japan).
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| Titolo: | Plasma deposition of organosilicon coatings as low-k dielectrics |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2007 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11586/18262 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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