Plasma deposition of organosilicon coatings as low-k dielectrics
MILELLA, ANTONELLA;A. M. COCLITE;FRACASSI, Francesco;
2007-01-01
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.