Electron Energy Distribution Function in RF N2 Plasma: The Role of Superelastic (Second Kind) Collision / CAPITELLI M; CELIBERTO R; GORSE C; WINKLER R; WILHELM J. - (1987). ((Intervento presentato al convegno XVIII ICPIG tenutosi a Swansea.
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Titolo: | Electron Energy Distribution Function in RF N2 Plasma: The Role of Superelastic (Second Kind) Collision |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 1987 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11586/9442 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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