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EnglishSelf-Consistent Solution of Boltzmann Equation in RF Plasmas: Application to Excimer Laser / GORSE C; CAPITELLI M. - (1988). ((Intervento presentato al convegno 41st GEC tenutosi a Minneapolis.
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| Titolo: | Self-Consistent Solution of Boltzmann Equation in RF Plasmas: Application to Excimer Laser |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 1988 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11586/9437 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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