’Influence of the ion bombardment on the growth and moisture permeation barrier properties of SiO2-like films deposited by remote plasma’ / MILELLA A; M. CREATORE; M.A. BLAUW; M.C.M. VAN DE SANDEN. - (2006).
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Titolo: | ’Influence of the ion bombardment on the growth and moisture permeation barrier properties of SiO2-like films deposited by remote plasma’ |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2006 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11586/20172 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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