On the Use of Actinometric Emission Spectroscopy in SF6-O2 Discharges: Theoretical and Experimental Analysis

D'Agostino, R.; Cramarossa, F.; DE BENEDICTIS, S.; Fracassi, Francesco; Laska, L.; Masek, K.

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On the Use of Actinometric Emission Spectroscopy in SF6-O2 Discharges: Theoretical and Experimental Analysis / R. D'AGOSTINO; F. CRAMAROSSA; S. DE BENEDICTIS; FRACASSI F; L. LASKA; K. MASEK. - In: PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING. - ISSN 0272-4324. - 5(1985), pp. 239-253.

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Titolo:	On the Use of Actinometric Emission Spectroscopy in SF6-O2 Discharges: Theoretical and Experimental Analysis
Autori:	R. D'AGOSTINO F. CRAMAROSSA S. DE BENEDICTIS FRACASSI, Francesco L. LASKA K. MASEK mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1985
Rivista:	PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING
Citazione:	On the Use of Actinometric Emission Spectroscopy in SF6-O2 Discharges: Theoretical and Experimental Analysis / R. D'AGOSTINO; F. CRAMAROSSA; S. DE BENEDICTIS; FRACASSI F; L. LASKA; K. MASEK. - In: PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING. - ISSN 0272-4324. - 5(1985), pp. 239-253.
Handle:	http://hdl.handle.net/11586/6075
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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